11月4日，北京市重点研发项目“90纳米碳基集成电路关键工艺研究”课题验收会在亦庄举行。

此项课题由首发展集团参与设立的北京元芯碳基集成电路研究院、首发展集团投资企业“北京华碳元芯电子科技有限责任公司”、北京大学、北京昂瑞微电子技术股份有限公司共同承担。经过严格认真评审，验收专家组认为课题承担单位完成了任务书规定的研发任务，达到了考核指标要求，一致建议该课题通过验收。

集成电路芯片是现代信息技术的基石。目前主流的硅基半导体技术由于受加工技术、器件物理极限等方面的限制，面临日益严峻的发展挑战，急需寻找新的信息器件推动未来电子学的发展。碳基集成电路具有加工温度低、工作速度快、功耗低、更易实现三维异构集成等优势，最有可能成为后摩尔时代集成电路的颠覆性技术之一。根据已有研究成果估算，90纳米碳基集成电路技术可达到硅基主流28纳米技术节点的综合性能。因此，90纳米集成电路技术是碳基集成电路技术走向应用的关键节点。

值得关注的是，在本课题开展过程中，在90纳米碳基技术的材料制备、关键工艺及器件性能、应用探索等方面均取得了可喜成果，包括在国际上首次将碳管材料推进到业界公认的集成电路可用的有效区间；制备出了相同技术节点下碳基中全球性能最好、优于硅基商业器件的晶体管；开发了性能最好的碳基高频射频器件、高灵敏的气体和生物传感芯片、辐照免疫的器件和电路，展示了碳基集成电路的应用前景。这些都为后续90纳米碳基集成电路完整工艺以及先导线建设打下了坚实的基础，将进一步加快碳基集成电路技术的发展和相关应用的产业化步伐。

首发展自投资项目以来，积极提供后续服务，推动项目良好发展，一是协助对接产业链上下游资源，并支撑创新链整合，加速转化进程；二是将项目公司纳入集团运营孵化载体——中关村前孵化创新中心，帮助团队建成首条4英寸3微米碳基集成电路实验线，并为其争取租金补贴和人才引进等政策支持；三是共同组建北京元芯碳基集成电路研究院，用更高层面的平台和更为开放的机制，实现与国家资源的无缝对接。

来源 ：北京元芯碳基集成电路研究院